《洁净厂房设计规范 GB50073-2013》

1 总则

2 术语

3 空气洁净度等级

注:按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。

    2 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算:

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式中:Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m³)。Cn是四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数;
      N——空气洁净度等级,数字不超过9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量;
      D——要求的粒径(μm);

      0.1——常数,其量纲为μm。

3 当工艺要求粒径不止一个时,相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。

4 空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm~0.5μm,超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。

3.0.2 空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态,空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。

3.0.3 空气洁净度的测试方法应按本规范附录A的要求进行。

3.0.4 当洁净室(区)内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时,应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。

4 总体设计

4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置

4.2 工艺平面布置和设计综合协调

4.3 人员净化和物料净化

图4.3.4 人员净化程序

4.3.5 根据不同的空气洁净度等级和工作人员数量,洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定,并宜按洁净区设计人数平均每人2㎡~4㎡计算。

4.3.6 洁净工作服更衣室、洗涤室的空气净化要求宜根据产品工艺要求和相邻洁净室(区)的空气洁净度等级确定。

4.3.7 洁净室内设备和物料出入口应根据设备和物料的性质、形状等特征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置应防止净化后物料在传递过程中被污染。

4.4 噪声控制


4.4.3 洁净厂房的平面和空间设计应考虑噪声控制要求。洁净室的围护结构应有良好的隔声性能,并宜使其各部分隔声量相接近。

4.4.4 洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备,宜设置专用隔声或消声设施。

4.4.5 净化空调系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外,洁净室内的排风系统应进行减噪设计。

4.4.6 根据室内容许噪声级要求,净化空调系统风管内风速宜符合下列规定:
1 总风管风速宜为6m/s~10m/s。
2 无送、回风口的支风管风速宜为4m/s~6m/s。
3 有送、回风口的支风管风速宜为2m/s~5m/s。

4.5 微振控制

5 建筑

5.1 一般规定

5.2 防火和疏散

5.3 室内装修

6 空气净化

6.1 一般规定

6.1.5 洁净室内的新鲜空气量应取下列两项中的最大值:
    1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。
    2 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m³。


6.1.6 洁净区的清扫宜采用移动式高效真空吸尘器,但空气洁净度等级为1级~5级的单向流洁净室宜设置集中式真空吸尘系统。洁净室内的吸尘系统管道应暗敷,吸尘口应加盖封堵。

6.1.7 净化空调系统设计对维护管理的要求应符合本规范附录C的规定。

6.2 洁净室压差控制

6.3 气流流型和送风量

注:1 换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室;
2 应根据室内人员、工艺设备的布置以及物料传输等情况采用上、下限值。

6.3.4 洁净室内各种设施的布置应考虑对气流流型和空气洁净度的影响,并应符合下列规定:
1 单向流洁净室内不宜布置洁净工作台,非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台。
2 需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。
3 有发热设备时,应采取措施减少热气流对气流分布的影响。
4 余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。

6.4 空气净化处理

6.5 采暖通风、防排烟

6.6 风管和附件

7 给水排水

7.1 一般规定

7.2 给水

7.3 排水

7.4 消防给水和灭火设备

8 工业管道

8.1 一般规定

8.2 管道材料和阀门

8.3 管道连接

8.4 安全技术

9 电气

9.1 配电

9.2 照明

9.3 通信

9.4 自动控制

9.5 静电防护及接地

附录A 洁净室或洁净区性能测试和认证

A.1 通则

A.2 洁净室或洁净区性能测试要求


A.2.3 当洁净室或洁净区已对粒子浓度、风速或风量、静压差执行连续监测,并且其测试值均符合本规范要求,则认证的测试时间间隔可延长。具体间隔时间可与认证单位洽商,并应符合下列规定:
1 空气洁净度等级认证可进行静态或动态检测,应洽商确定。
2 风量测定采用风速计在风口或风管测定。

A.2.4 洁净室或洁净区洽商选择的测试要求应符合表A.2.4的规定。

表A.2.4 洁净室或洁净区洽商选择的测试
A.2.4.jpg


A.3 洁净室主要测试方法

式中:VS——每个采样点的每次采样量,以L表示;当VS很大时,可使用顺序采样法;
  Cn·m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m³);
  20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,可测到的粒子颗数(pc)。

5 当洁净室或洁净区仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次。

A.3.6 对超出等级范围粒子的检测应符合下列规定:
1 在产品生产工艺有要求时,可按等级粒径范围之外的粒子浓度规定空气洁净度的水平。此类粒子的最大允许浓度和检测方法应由客户与建造商协商确定。
2 当需评价小于0.1μm的粒子造成的污染危险时,应采用符合这类粒子具体特性的采样方法和装置;可独立应用U描述符说明超微粒子浓度,也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。
U描述符用“U(χ,y)”表示,其中χ为超微粒子的最大允许浓度(pc/m³),y为以微米计的粒径。
例如:粒径范围等于或大于0.01μm的最大允许超微粒子的浓度为140 000个/m³,应表示为“U(140 000,0.01μm)”。
3 当需评价大于5μm的粒子造成的污染危险时,应采用符合这类粒子具体特性的采样装置和方法。可独立应用M描述符说明大于5μm的粒子浓度,也可将它作为悬浮粒子空气洁净度等级的补充说明。
M描述符用“M(a,b);c”表示,其中a为大粒子的最大允许浓度(pc/m³),b为与规定的大粒子测量方法相应的当量直径(μm),c为规定的测量方法。
例如:采用显微镜对多级撞击采样器采集的粒子进行检测,测量得到10μm~20μm粒径范围的悬浮粒子浓度为1000个/m³,则用M描述符表示为“M(1000;10μm~20μm);多级撞击采样器以显微镜测定粒径并计数”。

A.4 监测

A.5 认证

附录B 洁净厂房生产工作间的火灾危险性分类举例

附录C 净化空调系统设计对维护管理的要求

本规范用词说明

引用标准名录

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